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多晶硅定向凝固炉
控制精度高，结晶速度可调节
采用石墨电阻或感应加热熔炼法，增加溶液搅拌，熔炼速度快
定向凝固保温采用特制加热电源
具有三相电流平衡，维护费用低
- 商品名称： 多晶硅定向凝固炉
- 产品描述
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多晶硅定向凝固炉（简称结晶炉）
主要用途
太阳能级硅锭制造，也可以用于其他半导体材料提纯。
主要特点
1、控制精度高，结晶速度可调节
2、采用石墨电阻或感应加热熔炼法，增加溶液搅拌，熔炼速度快
3、定向凝固保温采用特制加热电源
4、具有三相电流平衡，维护费用低
5、采用恒温度控制仪，可设置148段加热工艺曲线
6、炉室采用高真空炉体，真空度高，抽气速度快
技术参数
● 熔炼容量： 10-450KG
● 电源功率：40-450KW
● 设计温度：≥1700℃
● 工作温度：1550℃
● 升温速率：40℃/Min
● 炉温均匀性：±5℃
● 极限真空度： 6.67×10-2Pa
● 压升率： 0.01PaL/S
● 额定充气压力：0.05Mpa
● 铸锭方式：坩埚下降/保温桶提升定向凝固
● 伺服控制范围：0.01mm-6mm/Min
● 定向凝固速率 ：0.01mm-0.5mm/Min
● 坩埚快速返回速度：80-100 mm/Min
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