产品介绍

CVD化学气相沉积炉是制备C/C复合材料的关键技术装备。

感应加热CVD化学气相沉积炉设备采用中频感应加热，设备采用立式，炉底升降进出料结构。温控系统选用日本岛电（或同档次一线品牌）智能程序控温仪控温，全套设备包含炉体、中频电源、电控系统、气体控制系统、水冷系统等组成。

技术参数

1) 炉型结构：立式圆筒形，炉底升降装出料。

2) 加热方式：中频感应加热

3) 工作温度：2200℃；

4) 常用温度：850~1150℃；

5) 炉温均匀性：900±25℃，1100±12.5℃

6) 控温方式：智能温控仪表（日本岛点FP23或同等品牌仪表）程序自动控温和手动调功控温两种方式；

7) 工作区尺寸：φ1200×H2500mm（直径×高）；

8) 装载量：＜2T；

9) 升温时间：6~8h（室温~1200℃）；

10) 加热功率：300kw；

11) 控温精度：升温过程±2℃，保温过程±1℃；

12) 真空度：≤50Pa（配置4套H150滑阀泵）；

13) 抽气时间：＜50min(空炉冷态抽气达到50Pa)

14) 空炉冷态压缩率：≤66.7Pa/h

15) 可充气氛：氮气、烃类含碳气体；

16) 进气方式：顶部中间；

17) 充气流量：300L/min；

18) 连续工作时间：＞300h；

19) 冷水流量：30m3/h; 冷水压力：0.15～0.25MPa。

20）设备占地空间：6000×6000×6000mm(长×宽×高)。

汉和工业感应加热CVD化学气相沉积炉接受非标定制。