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真空熔炼
感应加热CVD化学气相沉积炉设备采用中频感应加热，设备采用立式，炉底升降进出料结构。温控系统选用日本岛电（或同档次一线品牌）智能程序控温仪控温，全套设备包含炉体、中频电源、电控系统、气体控制系统、水冷系统等组成。
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